Front-end & Back-end Semiconductor Manufacturing
Novx 7000
입력 전압 -
출력 방식 -
Balance -
사이즈 -
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제품 특징

The Novx Series 7000 Process Monitoring System is a multi-purpose microprocessor-based instrument for monitoring critical electrostatic related parameters in workstation and process environments. The six dedicated channels customize the instrument for the monitoring field voltage detection/ionizer balance, ESD event, body voltage detection or ground monitoring and particle counting.



ᆞSmart Signal 프로세싱, 멀티플 센서 및 안테나 종류
ᆞDaisy chainable(다중 연결) 가능; RS-485 or Ethernet 출력
ᆞESD 이벤트 감지 추적
ᆞ세 가지 옵션의 필드 전압 모니터
ᆞ알람 설정 프로그래밍을 통한 자동 메시지 기능
ᆞ장비에 연동 된 컴퓨터에 Closed-loop 컨트롤 가능
ᆞ플러그인 모듈로 업그레이드 가능