에미터 포인트 유지보수 자료

최고관리자 분류1 0 18451 2019.10.25 09:51

2019.10.25 09:51 TN-003 Emitter-Maintenance_V3.pdf (370.1K) + 31 2019.10.25 10:55 Fuzz Ball 백화 현상-141027.pdf (72.4K) + 14

Ionizer Emitter 백화현상 (“Fuzz Balls”)

1. 백화 현상

1) Corona Ionizer Emitter 주위 발생

2) 발생 원인

     - 주위 습기로 인해 질산염화암모늄(NH4NO3)을 발생
     - 질산염화암모늄(NH4NO3)은 emitter point에 결정 구조를 형성 함
     - 질산염화암모늄(NH4NO3) 형성은 때때로 주위 환경에서 알루미늄, 철, 아연, 기타 금속 등의 trace elements를 포함 함
     - 건조 공기 및 질소 분위기 사용으로 백화 현상 억제 가능

3) Cleaning: 3개월 1회 @ Clean Room